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中芯国际回应：深圳工厂进口设备非 EUV 光刻机

中证网讯（记者 吴科任）中国证券报记者 3 月 6 日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称的 EUV 光刻机。据悉，EUV 光刻机主要用于 7nm 及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代 FinFET 14nm，已贡献 2019 年第四季度 1% 营收。