受旅游限制 ASML 延迟向中国客户交付 EUV 光刻机
4 月 1 日消息,有媒体报道,中国厂商向 ASML 订购的先进光刻机一而再的被阻碍,ASML 对外表示:受到疫情的影响,公司提供给武汉以及其他地区客户的 EUV 设备出货,均受到了影响,同时公司的供应链出现了问题,目前已经解决。
向 ASML 订购 EUV 光刻机的中国芯片厂商应该就是中芯国际,早在 1 月份与去年 11 月份,ASML 就因为延迟出货而被质疑。
今年 1 月份,ASML CEO 对外表示,已经向荷兰政府提交了中国客户出货的申请,但一直在审批。同时在去年 11 月份,有媒体报道,受到了美国的压力 ASML 将暂停向中芯国际供货。
追溯这条新闻,结果发现中芯国际是在 2018 年中旬向 ASML 订购的这台 EUV 光刻机,价格为 1.2 亿美元,预计在 2019 年底交付,2020 年正式安装,但如今 ASML 始终没有交付。
据了解,中芯国际的 7nm 以下制程将使用 ASML 供应的这台 EUV 光刻机,目前中芯 14nm 已经进入量产,12nm 也已经有了重大突破。