中芯国际回应:深圳工厂进口光刻机非 EUV 光刻机

IT 之家 3 月 6 日消息 据中国证券报报道,3 月 6 日下午从中芯国际获悉,日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机,但这是设备正常导入,用于产能扩充,并非外界所称的 EUV 光刻机。

IT 之家今天早些时候报道,3 月 4 日早上 8 点不到,中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司从从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区,这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

据 IT 之家获悉,EUV 光刻机主要用于 7nm 及以下制程。中芯国际目前量产的最先进制程为第一代 FinFET 14nm,已贡献 2019 年第四季度 1% 营收。
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